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J-GLOBAL ID：200903000379530570

サンドブラスト装置及びプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法

Inventor： 西村 祐行
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 土井 育郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001316586
Publication number (International publication number)：2003117831
Application date： Oct. 15, 2001
Publication date： Apr. 23, 2003
Summary：

【要約】【課題】 プラズマディスプレイパネルの障壁をサンドブラスト法によりパターニングするに際し、サンドブラスト加工時に生じる静電気により基板品質に悪影響を与えないようにする。【解決手段】 基板上に形成した電極12をその端子部12aを露出させた状態で覆うように形成された障壁材料層14を、研削材により切削加工してパターニングする工程を含むプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法において、電極12の端子部12aに接触する除電手段22を設け、基板上に発生する静電気を電極12の端子部12aから除電しながらサンドブラスト加工を行うようにする。サンドブラスト加工中に大きな放電を起こすことがないことから、電極や障壁に欠陥を生じることなく、基板品質を良好に保って障壁のパターニングを行うことができる。

Claim 1：

基板上に形成した電極をその端子部を露出させた状態で覆うように形成された障壁材料層を、噴射ノズルから噴き出す研削材により切削加工してパターニングするのに用いられるサンドブラスト装置において、加工中に電極の端子部に接触する除電手段を具備させたことを特徴とするサンドブラスト装置。

IPC (3)：

B24C 3/32 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02

FI (3)：

B24C 3/32 D ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B

F-Term (10)：

5C027AA09 ,  5C027AA10 ,  5C040FA01 ,  5C040GA09 ,  5C040GA10 ,  5C040GB03 ,  5C040GF19 ,  5C040GF20 ,  5C040JA17 ,  5C040MA23