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J-GLOBAL ID：200903000389462751

固体撮像装置とその製造方法

Inventor： 前川 繁登 ,  山本 秀和 ,  川島 光
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 早瀬 憲一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992298135
Publication number (International publication number)：1994125070
Application date： Oct. 09, 1992
Publication date： May. 06, 1994
Summary：

【要約】【目的】 受光部の感度を低下させることなく、入射光の受光部周辺への広がりを抑えてスミアの低減を図る。【構成】 素子部201とレンズ層203との間に、屈折率の高い光入射側光透過層19bと屈折率の小さい光出射側光透過層19aとからなり、上記レンズ層203により集光された入射光Aをこれが平行光束により近い光束となるよう上記両光透過層の接触界面での屈折により分散する光束分散層19を配設した。

Claim (excerpt)：

入射光を受け光電荷を発生する複数の受光部、及び各受光部で発生した光電荷を転送する転送部を半導体基板上に作り込んでなる素子部と、上記素子部上に設けられ、入射光の上記受光部への集光が各受光部に対応する領域毎に行われるよう構成したレンズ層とを備えた固体撮像装置において、上記レンズ層と素子部との間に配置され、屈折率の異なる光透過層を有し、上記レンズ層により集光された集光光束をこれが平行光束により近い光束となるよう上記光透過層により分散する光束分散層を備えたことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3)：

H01L 27/14 ,  G02B 27/00 ,  H04N 5/335

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-283572
  
• 特開平4-199874
  
• 特開平4-075384
  
• 特開平4-257261