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J-GLOBAL ID:200903000393197825
除振装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
荒船 博司 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001027270
Publication number (International publication number):2002227917
Application date: Feb. 02, 2001
Publication date: Aug. 14, 2002
Summary:
【要約】【課題】 本発明の課題は、応答性のよい中立位置決め機構を有する除振装置を提供することである。【解決手段】 除振台の中立位置決め機構として、電磁力により駆動されるコイルを用いるとともに、コイルと除振台を連結し、コイルの力が直接除振台に伝達するようにする。
Claim 1:
基台と、前記基台の上方に弾性部材を介して支持される除振台とを有する除振装置であって、前記除振台を駆動するアクチュエータと、前記除振台の中立位置からのずれを検出する検出手段と、前記検出手段により除振台のずれが検出されると、前記除振台をずれの方向とは逆方向に移動させ、除振台を中立位置に戻すように、前記アクチュエータを制御する制御手段と、を備え、前記アクチュエータは、磁界が形成された空隙中に配置されるコイル部に電流を供給することにより電磁力を発生させて前記コイル部を上下方向に駆動して、前記コイル部と連結される前記除振台を駆動させるように構成されていることを特徴とする除振装置。
F-Term (7):
3J048AA07
, 3J048AB08
, 3J048AD02
, 3J048CB09
, 3J048CB12
, 3J048DA01
, 3J048EA13
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
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免震装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-008244
Applicant:金剛株式会社
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除振装置ならびにデバイス製造装置および方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-182981
Applicant:キヤノン株式会社
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