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J-GLOBAL ID：200903000418947450

縮小投影露光のアライメント方法

Inventor： 橋本 一彦
Applicant, Patent owner： 関西日本電気株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991234621
Publication number (International publication number)：1993074683
Application date： Sep. 13, 1991
Publication date： Mar. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】 目合露光装置の目合精度を向上させるためには、ダイバイダイアライメント露光が必要となる。ダイバイダイ露光では、スループットが低下するため、非線形なズレ発生ウェーハのみ、実施する必要がある。【構成】 ファインアライメント時に残留エラーを算出し、この残留エラーが許容値以上になれば、ダイバイダイ露光を行うようにした。【効果】 これにより、非線形なズレ発生ウェーハのみダイバイダイ露光を行うため、スループットを低下させることなく、精度良くアライメントができる。

Claim (excerpt)：

縮小投影露光のアライメント(重ね合わせ)方法において、ウェーハ内の任意のショットの位置計測(ファインアライメント)の段階で、線形な目ズレか非線形な目ズレかを判断し、自動的に切換えて非線形な目ズレの発生のウェーハはショット毎に位置計測を行いながら露光を行い(ダイバイダイ露光)、その他のウェーハはグローバル露光を行うことを特徴とする縮小投影露光のアライメント方法。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00