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J-GLOBAL ID:200903000427916788

光軸に沿って光学素子を移動させる装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 村田 幹雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000056891
Publication number (International publication number):2000266983
Application date: Mar. 02, 2000
Publication date: Sep. 29, 2000
Summary:
【要約】【課題】 特に大きくて重い光学素子を極めて正確かつ微妙に、厳密には横移動の危険なく、光軸方向に移動できる、光軸に沿って光学素子を移動する装置を提供する。【解決手段】 光軸に沿って光学素子2、詳細には大直径の対物レンズを移動する装置において、光学素子2は、粗調整用の駆動機構9と微調整用の駆動機構10とを備えた調節装置8の作用を受ける保持リング1によって支持される。保持リング1は、光軸方向の剛性よりも光軸に交差する方向の剛性の方が実質的に大きい固体ジョイント4を介し、マウント上に配置されているまたはその一部を構成している支持リング3に連結される。固体ジョイント4は、調節装置8の作動時に保持リング1が光軸に沿って移動できるように、保持リング1と支持リング3との間に配置される。
Claim (excerpt):
少なくとも1つの調整用駆動機構を備えた調節装置の作用を受ける保持リングによって支持されている光学素子、詳細には大直径の対物レンズを光軸に沿って移動する装置において、前記保持リング(1)は、光軸方向の剛性よりも光軸に交差する方向の剛性の方が実質的に大きい固体ジョイント(4)を介して、マウント上に配置されており、またはそのマウントの一部を構成している支持リング(3)に連結され、前記固体ジョイント(4)は、前記調節装置(8)の作動時に前記保持リング(1)が前記光軸に沿って移動されるように前記保持リング(1)と支持リング(3)との間に配置されることを特徴とする光軸に沿って光学素子を移動させる装置。
IPC (2):
G02B 7/04 ,  G02B 21/26
FI (3):
G02B 7/04 E ,  G02B 21/26 ,  G02B 7/04 D

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