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J-GLOBAL ID：200903000431500324
照明装置及びそれを用いた投影露光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993256485
Publication number (International publication number)：1995094403
Application date： Sep. 20, 1993
Publication date： Apr. 07, 1995
Summary：
【要約】【目的】 レチクルの照射範囲の形状に応じて適切なる照明系を選択することにより効率的な照明を行った照明装置及びそれを用いた投影露光装置を得ること。【構成】 光源からの光束を光学手段を介して照射面上を照明する際、該光学手段は複数の微小レンズを2次元的に配列したオプティカルインテグレータを複数個有し、このうち1つのオプティカルインテグレータを光路中に挿脱可能に配置しており、該オプティカルインテグレータはそれを構成する複数の微小レンズからの射出光束の射出角が、該複数のオプティカルインテグレータ間において互いに異なっていること。
Claim 1：
光源からの光束を光学手段を介して照射面上を照明する際、該光学手段は複数の微小レンズを2次元的に配列したオプティカルインテグレータを複数個有し、このうち1つのオプティカルインテグレータを光路中に挿脱可能に配置しており、該オプティカルインテグレータはそれを構成する複数の微小レンズからの射出光束の射出角が、該複数のオプティカルインテグレータ間において互いに異なっていることを特徴とする照明装置。
IPC (2)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
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