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J-GLOBAL ID：200903000448660139

熱処理用ボート

Inventor： 沼 野 正 訓 ,  有 働 祐 宗 ,  細 木 芳 悟
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996059742
Publication number (International publication number)：1997251961
Application date： Mar. 15, 1996
Publication date： Sep. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】 熱処理過程においてウェーハに生じるスリップ、OSFを減少する【解決手段】 ウェーハを水平に且つ縦方向に複数保持する熱処理用ボートにおいて、ウェーハ21を保持するボート4の載置部の載置面14aがウェーハ21の撓みに対応した傾斜角αを有し、ウェーハと面で接触する。ウェーハの内部応力が減少してスリップが減少する。

Claim (excerpt)：

複数の支柱とこれ等の支柱同士を連結する連結部と、各支柱の同じ高さ位置に配設されてウェーハを載置する複数のウェーハ載置部と、を備える熱処理用ボートであって、各ウェーハ載置部は、前記ウェーハの撓みに対応した傾斜面を有し、この傾斜面上に前記ウェーハを載置する、ことを特徴とする熱処理用ボート。

IPC (6)：

H01L 21/22 511 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/324 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/205

FI (6)：

H01L 21/22 511 G ,  B65G 49/07 E ,  H01L 21/31 F ,  H01L 21/324 D ,  H01L 21/68 V ,  H01L 21/205