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J-GLOBAL ID：200903000460468464

感光性組成物及び酸発生剤

Inventor： 児玉 邦彦
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (5)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  濱田 百合子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002340914
Publication number (International publication number)：2004177486
Application date： Nov. 25, 2002
Publication date： Jun. 24, 2004
Summary：

【課題】特に220nm以下の光に対して透明性が高い新規な酸発生剤を提供し、また、その酸発生剤を用いて、高感度、高解像力で、良好なプロファイルを示し、且つデフォーカスラチチュードが広い感光性組成物を提供する。【解決手段】炭素原子をひとつ介してカルボニル基と結合したスルホニウムカチオンを2個又は3個有する酸発生剤、及び、当該酸発生剤を含有する感光性組成物。【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

(A)活性光線の照射により酸を発生する下記一般式(I)で表される化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (4)：

G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

FI (4)：

G03F7/004 503A ,  G03F7/038 601 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R

F-Term (15)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17