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J-GLOBAL ID：200903000470889263

液体噴射記録ヘッドの製造方法

Inventor： 稲本 忠喜 ,  芝 昭二
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丹羽 宏之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995049760
Publication number (International publication number)：1996244236
Application date： Mar. 09, 1995
Publication date： Sep. 24, 1996
Summary：

【要約】【目的】 精密であり、信頼性の高い液体噴射記録ヘッドの製造方法。【構成】 液体露出エネルギー発生素子2を有する基板1の上に液体流路のパターン状に設けた感光性材料の固体層3をジメチルスルホキシドを主成分とする溶剤を用いて除去することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

基板上に液流路のパターン状に感光性材料の固体層を設ける工程と、該固体層が設けられた前記基板上に液流路構成材料の少なくとも一部を設ける工程と、前記感光性材料の固体層を前記基板上より除去する工程を有する液体噴射記録ヘッドの製造方法であって、前記感光性材料固体層を除去する工程では、ジメチルスルホキシドまたはジメチルスルホキシドを主成分とする溶剤を用いて除去することを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。