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J-GLOBAL ID：200903000476733311
塗布装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
下田 容一郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991355935
Publication number (International publication number)：1993169003
Application date： Dec. 20, 1991
Publication date： Jul. 09, 1993
Summary：
【要約】【目的】 スピンナーを備えた塗布装置のカップを回転させた場合にカップ内に乱流が生じないようにする。【構成】 スピンナー装置の中空回転軸12上端にインナーカップ20の底板21を固着し、この底板21の上面周縁に環状の壁体22を立設し、底板21にはガラス基板と略相似形の台部25を設け、この台部25の中央には開口26を形成し、また台部25の上面外周にはガラス基板Wの下面周縁に当接する突条27を形成し、この突条27上面にシール28を設けている。
Claim (excerpt)：
板状被処理物をスピンナーによって回転せしめられるカップ内にセットし、この板状被処理物の表面に塗布液を滴下し、次いでカップ上面を蓋体で閉塞してカップを回転させることで滴下した塗布液を板状被処理物の表面に均一に拡散せしめるようにした塗布装置において、前記カップ内底部には板状被処理物と略相似形の台部が設けられ、この台部の中央には真空チャックが臨む開口が形成され、台部の上面外周には板状被処理物の下面外周に当接する突条が形成されていることを特徴とする塗布装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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