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J-GLOBAL ID：200903000509532961
導波路と受光素子の固定構造
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山内 梅雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991340751
Publication number (International publication number)：1993175523
Application date： Dec. 24, 1991
Publication date： Jul. 13, 1993
Summary：
【要約】【目的】 大量生産が可能な構造とする。【構成】 導波路の光出射端直近のSi 基板20上には、受光素子23を固定するためのガイド溝24と電極25が設けられている。このガイド溝24は反応性イオンエッチングによってその内径が受光素子23の外径より僅かに大きめに加工されている。このガイド溝24の深さや位置は、受光素子23をガイド溝24内に挿入固定したときに導波路からの出射光が受光素子23の受光面26の中心に入射するよう設定されている。このガイド溝24内に受光素子23を機械的に挿入することにより、光軸調整をすることなく効率の高い結合が実現できる。
Claim (excerpt)：
基板上に形成された導波路と受光素子との固定構造において、前記導波路の光出射端直近に受光素子の外径より僅かに大きな内径寸法を有しかつ受光素子が挿入固定されるガイド溝を設け、前記基板上に設けられた電極と受光素子の電極が電気的に接続されてなることを特徴とする導波路と受光素子の固定構造。
IPC (3)：
H01L 31/0232
, G02B 6/12
, G02B 6/42
