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J-GLOBAL ID：200903000526114081

メタル絶縁半導体(MIS)センサを用いた流体の検出

Inventor： パイク スチーブン シー
Applicant, Patent owner： エレクトリック パワー リサーチ インスチテュート
Agent (1)： 中村 稔 (外6名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1995513289
Publication number (International publication number)：1997504613
Application date： Oct. 27, 1994
Publication date： May. 06, 1997
Summary：

【要約】Pd/Cu合金電極(15)を備えたMISダイオードセンサは、CO,H2,C2H2及びC2H4に感じ、それらを検出する。異なる電極成分を有するMISダイオードセンサ(10)のアレー(30)が、キーとなる障害ガスであるCO,H2,C2H2及びC2H4WOの少なくとも1つの検出することにより、電気変圧器内の障害を示すことができる。

Claim (excerpt)：

流体中の成分を検出するメタル絶縁半導体ダイオード・センサであって、このセンサが、パラジウムと銅の合金を含む電極を有するメタル絶縁半導体ダイオードセンサ。

IPC (2)：

G01N 27/00 ,  G01N 27/12

FI (3)：

G01N 27/00 Z ,  G01N 27/12 C ,  G01N 27/12 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭63-071647
  
• 特開昭60-073448