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J-GLOBAL ID：200903000535435222

半導体露光装置およびそのウエハチャッククリーニング方法

Inventor： 毛見 柳一
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992031338
Publication number (International publication number)：1993198470
Application date： Jan. 23, 1992
Publication date： Aug. 06, 1993
Summary：

【要約】【目的】 チャック周辺の光学部品等を損傷させることなく、簡単にチャッククリーニングを実施出来る半導体露光装置およびウエハーチャッククリーニング方法を提供する。【構成】 露光すべきウエハを搭載固定するウエハチャック2を備えた半導体露光装置において、前記ウエハチャック2のウエハ搭載面の外周に該搭載面より突出した高さのフェンス1を設ける。ウエハチャッククリーニングは前記フェンスにクリーニングプレートを押し付けながら回転して行なう。

Claim (excerpt)：

露光すべきウエハを搭載固定するウエハチャックを備えた半導体露光装置において、前記ウエハチャックのウエハ搭載面の外周に該搭載面より突出した高さのフェンスを設けたことを特徴とする半導体露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521