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J-GLOBAL ID：200903000545625666
陰極装置及びその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
石田 敬 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994115309
Publication number (International publication number)：1995065706
Application date： May. 27, 1994
Publication date： Mar. 10, 1995
Summary：
【要約】【目的】 本発明は陰極装置及びその製造方法に関し、できるだけ低い電圧で電界放出を起こさせることができるようにすることを目的とする。【構成】 基板1と、該基板に形成され、円錐状の先端部分2Aを有する少なくとも1つのエミッタティップ2と、該基板の上方に形成され、該エミッタティップの先端部分を露出させる開口部4Aを有するゲート電極層4とを具備し、該ゲート電極層の該開口部4Aの直径が該エミッタティップ2の該基板との接合部における直径よりも小さい構成とする。製造方法においては、ゲート電極層4がゲート電極材料がエミッタティップ2の円錐状の先端部分の表面の拡散膜に付着せしめられようにし、該拡散膜の除去により、ゲート電極層4の開口部の内周壁がエミッタティップ2の円錐状の先端部分とほぼ平行に延びるようにする。
Claim (excerpt)：
基板(1)と、該基板に形成され、円錐状の先端部分(2A)を有する少なくとも1つのエミッタティップ(2)と、該基板の上方に形成され、該エミッタティップの先端部分を露出させる開口部(4A)を有するゲート電極層(4)とを具備し、該ゲート電極層の該開口部(4A)の直径が該エミッタティップ(2)の該基板との接合部における直径よりも小さいことを特徴とする陰極装置。
IPC (4)：
H01J 1/30
, H01J 9/02
, H01J 31/12
, H01J 31/15
Cited by examiner (7)
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