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J-GLOBAL ID:200903000569050338

積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小塩 豊
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997094116
Publication number (International publication number):1998290031
Application date: Apr. 11, 1997
Publication date: Oct. 27, 1998
Summary:
【要約】【課題】 高湿度雰囲気中で使用したときにおいても内部電極の成分である例えば銀のマイグレーションを防止し、耐久性により一層優れた積層型圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】 圧電素子2と内部電極3が交互に積層された積層体7からなり、内部電極3を積層体7の側面に設けた少なくとも一対の外部電極5と一層おきに電気的に接続して各圧電素子2の両面で少なくとも一対の対向電極を形成してなる積層型圧電アクチュエータ1おいて、内部電極3のうち積層体7の側面に露出した端部でかつ外部電極5と接続していない部分を絶縁体4で被覆した。
Claim (excerpt):
圧電素子と内部電極が交互に積層された積層体からなり、内部電極を積層体の側面に設けた少なくとも一対の外部電極と一層おきに電気的に接続して各圧電素子の両面で少なくとも一対の対向電極を形成してなる積層型圧電アクチュエータにおいて、内部電極のうち積層体の側面に露出した端部でかつ外部電極と接続していない部分を絶縁体で被覆したことを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
IPC (2):
H01L 41/083 ,  H01L 41/22
FI (3):
H01L 41/08 S ,  H01L 41/08 Q ,  H01L 41/22 Z

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