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J-GLOBAL ID:200903000569792040

半導体装置及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (11): 前田 弘 ,  竹内 宏 ,  嶋田 高久 ,  竹内 祐二 ,  今江 克実 ,  藤田 篤史 ,  二宮 克也 ,  原田 智雄 ,  井関 勝守 ,  関 啓 ,  杉浦 靖也
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2008039201
Publication number (International publication number):2008277753
Application date: Feb. 20, 2008
Publication date: Nov. 13, 2008
Summary:
【課題】微細化プロセスにおいても、また、Nchトランジスタ及びPchトランジスタの両方を持つデバイスにおいても、欠陥等を発生させることなく、トランジスタのチャネル領域に対する応力制御を行うことを可能にする。【解決手段】Nchトランジスタの第1のゲート電極107及びPchトランジスタの第2のゲート電極108のそれぞれの構成材料として、互いに応力の大きさが異なる材料を用いている。【選択図】図1
Claim (excerpt):
第1のゲート電極を有するNchトランジスタと、第2のゲート電極を有するPchトランジスタとを備え、 前記第1のゲート電極及び前記第2のゲート電極のそれぞれの構成材料として、互いに応力の大きさが異なる材料を用いていることを特徴とする半導体装置。
IPC (6):
H01L 21/823 ,  H01L 27/092 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49 ,  H01L 21/28 ,  H01L 29/78
FI (4):
H01L27/08 321D ,  H01L29/58 G ,  H01L21/28 301S ,  H01L29/78 301G
F-Term (90):
4M104AA01 ,  4M104BB01 ,  4M104BB02 ,  4M104BB03 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB06 ,  4M104BB07 ,  4M104BB10 ,  4M104BB13 ,  4M104BB16 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB19 ,  4M104BB20 ,  4M104BB21 ,  4M104BB22 ,  4M104BB23 ,  4M104BB24 ,  4M104BB25 ,  4M104BB26 ,  4M104BB27 ,  4M104BB28 ,  4M104BB36 ,  4M104CC05 ,  4M104DD04 ,  4M104DD43 ,  4M104DD65 ,  4M104DD79 ,  4M104DD84 ,  4M104FF08 ,  4M104FF14 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH14 ,  5F048AA07 ,  5F048AC03 ,  5F048BA01 ,  5F048BA10 ,  5F048BB01 ,  5F048BB04 ,  5F048BB05 ,  5F048BB08 ,  5F048BB09 ,  5F048BB10 ,  5F048BB12 ,  5F048BB14 ,  5F048BC06 ,  5F048BD01 ,  5F048BE03 ,  5F048BF06 ,  5F048BF16 ,  5F048BG13 ,  5F048DA25 ,  5F048DA27 ,  5F048DA30 ,  5F140AA00 ,  5F140AA01 ,  5F140AA39 ,  5F140AB03 ,  5F140AC28 ,  5F140BA01 ,  5F140BC06 ,  5F140BE07 ,  5F140BF01 ,  5F140BF03 ,  5F140BF04 ,  5F140BF08 ,  5F140BF11 ,  5F140BF13 ,  5F140BF15 ,  5F140BF18 ,  5F140BG10 ,  5F140BG12 ,  5F140BG14 ,  5F140BG28 ,  5F140BG30 ,  5F140BG34 ,  5F140BG44 ,  5F140BG45 ,  5F140BH15 ,  5F140BJ08 ,  5F140BK02 ,  5F140BK13 ,  5F140BK20 ,  5F140BK34 ,  5F140CB04 ,  5F140CB08 ,  5F140CE07
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2) Cited by examiner (8)
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