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J-GLOBAL ID:200903000574717570

研磨材供給装置および研磨材供給方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 磯野 道造 ,  多田 悦夫 ,  岡林 義弘
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007031495
Publication number (International publication number):2008194773
Application date: Feb. 13, 2007
Publication date: Aug. 28, 2008
Summary:
【課題】安定した状態で研磨材を供給できる研磨材供給装置および研磨材供給方法を提供すること。【解決手段】研磨材供給装置1は、研磨材Bを貯留する圧力容器からなる研磨材供給タンク2と、この研磨材供給タンク2内に、空気圧を負荷させるための空気圧縮機3と、研磨材供給タンク2に基端部Paを接続して研磨材供給タンク2内の研磨材Bを圧送するための供給配管Pと、を備えている。供給配管Pは、先端部Pbの空気圧が圧力損失によって大気圧近くまで減衰する長さLに形成されている。【選択図】図1
Claim (excerpt):
粒子状の研磨材を貯留する圧力容器からなる研磨材供給タンクと、 この研磨材供給タンク内に、空気圧を負荷させるための空気圧縮機と、 前記研磨材供給タンクに基端部を接続して前記研磨材供給タンク内の前記研磨材を圧送するための供給配管と、 を備えた研磨材供給装置において、 前記供給配管は、先端部の空気圧が圧力損失によって大気圧近くまで減衰する長さに形成されていることを特徴とする研磨材供給装置。
IPC (2):
B24C 7/00 ,  B24C 5/02
FI (4):
B24C7/00 B ,  B24C7/00 D ,  B24C7/00 C ,  B24C5/02 B
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3) Cited by examiner (8)
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