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J-GLOBAL ID:200903000582152654

有機EL素子、有機EL素子製造用マスク及び有機EL素子の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 西村 教光
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998182337
Publication number (International publication number):2000012238
Application date: Jun. 29, 1998
Publication date: Jan. 14, 2000
Summary:
【要約】【課題】XYマトリクスの有機EL素子において、上側電極形成用マスクの治具を小型化する。【解決手段】基板の上に第1電極と有機層と第2電極を積層したXYマトリクス駆動の有機EL素子は、第2電極と平行なダミー電極を有する。第2電極とダミー電極の蒸着用のマスク2は、複数本の帯状のマスキング部12を一対の連結部13で連結した電極マスク部10と、電極マスク部の上下両端を覆う2個の端子マスク部11を有する。有機層の上に電極マスク部10を配置してマスキング部12に所定の張力を加え、両端の各マスキング部12の少なくとも各一部を覆うように、端子マスク部11を電極マスク部10の上に配置し、電極マスク部10と端子マスク部11を介して基板側に第2電極を形成する物質を蒸着し、第2電極とダミー電極を形成する。マスクにかけるテンションを小さくすることが可能となり、蒸着装置内で使用する治具の小型化、軽量化が実現できる。
Claim (excerpt):
絶縁性の基板と、前記基板の上に所定間隔をおいて形成された複数本の帯状の第1電極と、前記第1電極の上に形成された有機層と、前記第1電極と交差するように前記有機層の上に所定間隔をおいて形成された複数本の帯状の第2電極とを有する有機EL素子において、前記第2電極の並列方向の両端に前記第2電極と平行にダミー電極を設けたことを特徴とする有機EL素子。
IPC (3):
H05B 33/26 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/22
FI (3):
H05B 33/26 Z ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/22 Z
F-Term (14):
3K007AB06 ,  3K007AB14 ,  3K007AB17 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007BB06 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007CC05 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  3K007FA02

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