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J-GLOBAL ID：200903000594315729

静電アクチュエータ

Inventor： 越川 誉生 ,  今村 孝浩
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 松本 昂
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995214734
Publication number (International publication number)：1997065667
Application date： Aug. 23, 1995
Publication date： Mar. 07, 1997
Summary：

【要約】【課題】 本発明は静電力を駆動力とした静電アクチュエータに関し、大きな駆動力を得るのが容易で且つ可動子の高精度な位置決めが可能な静電アクチュエータの提供を目的とする。【解決手段】 一定ピッチの複数の溝4及び電極6を有する固定子2と、溝ピッチの整数倍のピッチで設けられる凸部10を有する可動子8と、絶縁層5と、可動子8と電極6の間に交互に電圧を印加する手段と、可動子8を固定子2から遠ざかる方向に付勢する手段とから構成する。

Claim (excerpt)：

表面に一定のピッチで複数の溝が形成され、該複数の溝に沿って設けられる複数の電極を有する固定子と、上記溝のピッチの整数倍のピッチで設けられる上記溝に対応する形状の複数の凸部を有し、少なくとも該凸部の一部は導体からなる可動子と、上記固定子及び上記可動子の間に介在する絶縁層と、上記可動子の導体と上記複数の電極のそれぞれとの間に交互に電圧を印加する第1の手段と、少なくとも上記電圧が印加されていないときに上記可動子を上記固定子から遠ざかる方向に付勢する第2の手段とを備えた静電アクチュエータ。