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J-GLOBAL ID:200903000599303370

真空紫外光透過性の無水・無酸素フッ化アルミニウムガラス

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 須藤 政彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998066237
Publication number (International publication number):1999246234
Application date: Mar. 02, 1998
Publication date: Sep. 14, 1999
Summary:
【要約】【課題】 波長160nm以下の短波長域で高い光透過性を有し、光学的均質性、光化学的耐久性に優れ、かつ多様な透過率特性を持った製品を容易に作製することが可能なフッ化アルミニウムガラスを提供する。【解決手段】 フッ化アルミニウムならびにフッ化物で構成され、無水・無酸素としたことを特徴とする真空紫外光透過性の無水・無酸素フッ化アルミニウムガラス。
Claim (excerpt):
フッ化アルミニウムならびにフッ化物で構成され、無水・無酸素としたことを特徴とする真空紫外光透過性の無水・無酸素フッ化アルミニウムガラス。
IPC (2):
C03C 3/32 ,  C03C 4/00
FI (2):
C03C 3/32 ,  C03C 4/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 特開昭63-107841

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