電子材料焼成用ジルコニア質セッター

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：渡邉一平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994325652
Publication number (International publication number)：1996178549
Application date： Dec. 27, 1994
Publication date： Jul. 12, 1996
Summary：

【要約】【構成】 CaO、MgO、Y2O3、CeO2から選ばれた一種以上の安定化剤によって安定化された、前記安定化剤とジルコニア以外の不純物の含有量が1.0重量%以下である安定化ジルコニア原料に対し、CaO、MgO、Y2O3、CeO2から選ばれた一種以上の成分を0.1〜2.0重量%添加して得られた粉体を成形し、これを焼成してなる電子材料焼成用ジルコニア質セッター。【効果】本発明のジルコニア質セッターは、被焼成体の特性に悪影響を及ぼすような不純物の量を極力抑えながら、セッターとして求められる強度を満たし、かつ被焼成体からの成分の浸透に対する耐反応性が改善されたものである。したがって、焼成中における被焼成体との反応が少なく、強度、耐久性にも優れたセッターとして、電子材料の焼成に好適に使用できる。

Claim (excerpt)：

CaO、MgO、Y2O3、CeO2から選ばれた一種以上の安定化剤によって安定化された、前記安定化剤とジルコニア以外の不純物の含有量が1.0重量%以下である安定化ジルコニア原料に対し、CaO、MgO、Y2O3、CeO2から選ばれた一種以上の成分を0.1〜2.0重量%添加して得られた粉体を成形し、これを焼成してなることを特徴とする電子材料焼成用ジルコニア質セッター。

IPC (3)：

F27D 3/12 , C04B 35/48 , C04B 35/64

FI (2)：

C04B 35/48 Z , C04B 35/64 J

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平2-252656
特開平3-197356
特開平4-325464

Show all

Return to Previous Page