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J-GLOBAL ID：200903000615473923

X線分光素子およびそれを用いた蛍光X線分析装置

Inventor：
堂井 真

About 堂井 真


Applicant, Patent owner：
理学電機工業株式会社

About 理学電機工業株式会社


Agent (1)： 杉本 修司 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002058658
Publication number (International publication number)：2003255091
Application date： Mar. 05, 2002
Publication date： Sep. 10, 2003
Summary：
【要約】【課題】 エネルギーがSi -Kの吸収端未満で、高強度で十分に単色化された1次X線を生成できるX線分光素子などを提供する。【解決手段】 蛍光X線分析において、X線源3 から発生するX線2 を分光して、試料1 に照射する1次X線5 とするために用いられ、反射層4aとスペーサ層4bからなる層対を基板4c上に多数積層して構成されたX線分光素子4 であって、前記1次X線5 のエネルギーが、1400eV以上でSi -Kの吸収端のエネルギー未満であり、前記反射層4aの物質がSi で、前記スペーサ層4bの物質がB4 C、BまたはCである。
Claim 1：
蛍光X線分析において、X線源から発生するX線を分光して、試料に照射する1次X線とするために用いられ、反射層とスペーサ層からなる層対を基板上に多数積層して構成されたX線分光素子であって、前記1次X線のエネルギーが、1400eV以上でSi -Kの吸収端のエネルギー未満であり、前記反射層の物質がSi で、前記スペーサ層の物質がB4 C、BまたはCであるX線分光素子。
IPC (3)：
G21K 1/06 ,  G01N 23/223 ,  G21K 5/02
FI (4)：
G21K 1/06 C ,  G21K 1/06 M ,  G01N 23/223 ,  G21K 5/02 X
F-Term (15)：
2G001AA01 ,  2G001AA09 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001EA02 ,  2G001EA03 ,  2G001EA09 ,  2G001EA20 ,  2G001KA01 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001NA06 ,  2G001NA07 ,  2G001NA17
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)
  • 蛍光X線分析装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-144054   Applicant：理学電機工業株式会社, 株式会社東芝
  • 特開平2-306202
  • 特開平2-306202

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