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J-GLOBAL ID:200903000615473923
X線分光素子およびそれを用いた蛍光X線分析装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
杉本 修司 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002058658
Publication number (International publication number):2003255091
Application date: Mar. 05, 2002
Publication date: Sep. 10, 2003
Summary:
【要約】【課題】 エネルギーがSi -Kの吸収端未満で、高強度で十分に単色化された1次X線を生成できるX線分光素子などを提供する。【解決手段】 蛍光X線分析において、X線源3 から発生するX線2 を分光して、試料1 に照射する1次X線5 とするために用いられ、反射層4aとスペーサ層4bからなる層対を基板4c上に多数積層して構成されたX線分光素子4 であって、前記1次X線5 のエネルギーが、1400eV以上でSi -Kの吸収端のエネルギー未満であり、前記反射層4aの物質がSi で、前記スペーサ層4bの物質がB4 C、BまたはCである。
Claim (excerpt):
蛍光X線分析において、X線源から発生するX線を分光して、試料に照射する1次X線とするために用いられ、反射層とスペーサ層からなる層対を基板上に多数積層して構成されたX線分光素子であって、前記1次X線のエネルギーが、1400eV以上でSi -Kの吸収端のエネルギー未満であり、前記反射層の物質がSi で、前記スペーサ層の物質がB4 C、BまたはCであるX線分光素子。
IPC (3):
G21K 1/06
, G01N 23/223
, G21K 5/02
FI (4):
G21K 1/06 C
, G21K 1/06 M
, G01N 23/223
, G21K 5/02 X
F-Term (15):
2G001AA01
, 2G001AA09
, 2G001BA04
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001EA02
, 2G001EA03
, 2G001EA09
, 2G001EA20
, 2G001KA01
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001NA06
, 2G001NA07
, 2G001NA17
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
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蛍光X線分析装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-144054
Applicant:理学電機工業株式会社, 株式会社東芝
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特開平2-306202
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