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J-GLOBAL ID：200903000619286257
LCDカラーフィルタ基板周辺部残膜の除去方法およびその装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
薬師 稔 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992303164
Publication number (International publication number)：1994130222
Application date： Oct. 16, 1992
Publication date： May. 13, 1994
Summary：
【要約】【目的】LCDカラーフィルタ基板周辺部の残膜をパターン部に影響を与えることなく化学的に溶解,除去し、カラーフィルタの不良率を減少させる。【構成】LCDカラーフィルタ基板1を垂直にセットする基板セット部11,セットした基板の底辺傾きチェック部21,基板底辺の希アルカリ液浸漬部31,純水吹付けによる水洗部41,クリーンエア吹付けによる乾燥部51が並設され、基板保持部61により基板セット部11から各部へカラーフィルタ基板1を順次移送し、基板底辺の残膜を溶解し、水洗,乾燥する。
Claim (excerpt)：
カラーフィルタ基板の周辺部を希アルカリ液に浸漬した後、純水を吹きつけて洗浄し、クリーンエアを吹付け乾燥することを特徴とするLCDカラーフィルタ基板周辺部残膜の除去方法。
IPC (3)：
G02B 5/20 101
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1335 500
