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J-GLOBAL ID:200903000620744935
検査装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
村上 友一 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995150994
Publication number (International publication number):1996320221
Application date: May. 25, 1995
Publication date: Dec. 03, 1996
Summary:
【要約】【目的】 摺動走査の際にセンサの受けた反力が外部に伝わらないようにする。【構成】 ゴムによって弾性変形可能に形成した取付け台12の下端には、前面を検査対象に接触させる、薄いゴムによって弾性変形可能に形成した滑りシート18が取り付けてある。一方、取り付け台12の上部には、駆動モータ36によって回転するねじ軸26を有する走査部32が設けてあり、走査部32によって移動する耐圧容器30の下部に、複数の渦電流試験プローブをゴムモールドした可撓なセンサシート20が取り付けてある。また、耐圧容器30内には、センサシート20を滑りシート18に押圧する、弾性変形可能な倣いゴム48を昇降させる昇降装置が内蔵してある。そして、滑りシート18とセンサシート20との対向面には、ふっ素樹脂などの低摩擦部材がコーティングしてある。
Claim (excerpt):
支持台に設けられ、前面が検査対象に接触する滑りシートと、前記支持台に走査手段とを介して取り付けられ、前記滑りシートの背面を摺動する渦電流試験用プローブ等のセンサとを有することを特徴とする検査装置。
IPC (2):
G01B 21/20 101
, G01N 27/90
FI (2):
G01B 21/20 101 A
, G01N 27/90
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