圧力センサおよび圧力センサ用ダイヤフラム

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：村上友一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007105146
Publication number (International publication number)：2008261750
Application date： Apr. 12, 2007
Publication date： Oct. 30, 2008
Summary：

【課題】センサ素子片の気密性を確保した圧力センサおよび圧力センサ用ダイヤフラムを提供する。【解決手段】圧力センサ10は、積層方向に重ねた2枚のダイヤフラム14を有している。このダイヤフラム14の間には、センサ素子片30を収容する空間28が形成してある。またダイヤフラム14は、測定する圧力を受ける受圧部16を有している。そしてセンサ素子片30は、前記空間28内に、且つ、一方のダイヤフラム14における受圧部16に配設してある。これにより受圧部16が湾曲するのに伴って、センサ素子片30も湾曲するようになっている。また受圧部16における圧力センサ10の外側部分には第1凹部20が形成してあり、この第1凹部20内に保護材12を充填して受圧部16を覆っている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

測定対象となる圧力を受ける受圧部と、前記受圧部の一方の面を覆う保護材と、前記受圧部の他方の面に配設され、前記受圧部が撓むのに伴って変形するセンサ素子片と、を有することを特徴とする圧力センサ。

IPC (1)：

G01L 9/00

FI (1)：

G01L9/00 C

F-Term (8)：

2F055AA40 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055CC51 , 2F055DD19 , 2F055EE25 , 2F055FF38 , 2F055GG12

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

感圧素子、及びこれを用いた圧力センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-299699 Applicant：東洋通信機株式会社

Cited by examiner (3)

感圧素子、及びこれを用いた圧力センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-299699 Applicant：東洋通信機株式会社
特開平2-098174
特開昭63-281033

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