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J-GLOBAL ID：200903000647055457
アライメント検出装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992224896
Publication number (International publication number)：1994046999
Application date： Jul. 31, 1992
Publication date： Feb. 22, 1994
Summary：
【要約】【目的】 アライメント状態が正確かつ容易に検出することができるアライメント検出装置を提供する。【構成】 屈折力をもつ被検物と測定系等とのアライメント検出装置において、光学的に被検眼との距離が異なる一対の指標を被検物に投影する投影光学系と、該投影光学系に投影された一対の指標の被検物の反射像を検出する検出光学系と、該検出光学系による検出結果に基づいてアライメント状態を決定する判断手段とを有することを特徴とする。
Claim (excerpt)：
屈折力をもつ被検物と測定系等とのアライメント検出装置において、光学的に被検眼との距離が異なる一対の指標を被検物に投影する投影光学系と、該投影光学系に投影された一対の指標の被検物の反射像を検出する検出光学系と、該検出光学系による検出結果に基づいてアライメント状態を決定する判断手段とを有することを特徴とするアライメント検出装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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特開昭60-253431
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特開平2-088038
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特開平2-001212
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特開昭61-064228
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特開平3-060629
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Cited by examiner (10)
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