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J-GLOBAL ID：200903000677831613

荷電粒子光学系のシミュレーション方法

Inventor： 山田 篤
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 細江 利昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998193585
Publication number (International publication number)：2000011938
Application date： Jun. 25, 1998
Publication date： Jan. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】 計算時間を短くでき、かつ、光軸から遠い位置に到達する軌道も厳密に評価可能な荷電粒子光学系のシミュレーション方法を提供する。【解決手段】 軸上レンズ場をC∞級又はCn級の関数にフィットさせた形式で記述すると共に、光軸外のレンズ場を上記軸上レンズ場の関数の微分形式で記述し、荷電粒子の軌道方程式を解く。

Claim (excerpt)：

荷電粒子光学系をシミュレーションする方法であって、軸上レンズ場をC∞級の関数にフィットさせた形式で記述すると共に、光軸外のレンズ場を上記軸上レンズ場の関数の微分形式で記述して荷電粒子の軌道方程式を解く工程を含むことを特徴とする荷電粒子光学系のシミュレーション方法。

IPC (5)：

H01J 37/147 ,  G06F 17/50 ,  G21K 1/00 ,  H01J 37/14 ,  H01J 37/153

FI (6)：

H01J 37/147 Z ,  G21K 1/00 Z ,  H01J 37/14 ,  H01J 37/153 ,  G06F 15/60 612 A ,  G06F 15/60 680 A

F-Term (3)：

5B046AA00 ,  5B046BA00 ,  5B046DA01