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J-GLOBAL ID：200903000692523925

ステージローディング評価方法及び装置

Inventor： 青山 進
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 北野 好人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993232671
Publication number (International publication number)：1995086365
Application date： Sep. 20, 1993
Publication date： Mar. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】 炉芯管内の製品のローディング状況(例えば、炉芯管内の薄膜剥離の発生状況、ステージコロの磨耗状態、製品の欠陥発生状況等)をリアルタイムに評価するステージローディング評価方法及び装置を提供する。【構成】 製品を搭載したステージ3を引き出し棒1により炉芯管7内にローディングする際のローディング状況を評価するステージローディング評価方法において、引き出し棒1に設置された接触式超音波検出手段11により検出された超音波信号に基づき、ステージのローディング状況を評価する。

Claim (excerpt)：

製品を搭載したステージを引き出し棒により炉芯管内にローディングする際のローディング状況を評価するステージローディング評価方法において、前記引き出し棒に設置された接触式超音波検出手段により検出された超音波信号に基づき、前記ステージのローディング状況を評価することを特徴とするステージローディング評価方法。