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J-GLOBAL ID:200903000715575871

イオン注入条件の管理方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 好宮 幹夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007322213
Publication number (International publication number):2009147072
Application date: Dec. 13, 2007
Publication date: Jul. 02, 2009
Summary:
【課題】イオン注入が用いられるシリコンウエーハ製造プロセスやデバイス製造プロセスにおいて、イオン注入工程におけるイオン注入条件を精度よく管理することを目的とする。【解決手段】イオン注入層を有するシリコンウエーハのロッキングカーブの低角度側(高角度側)の角度範囲の回折強度を、リファレンスウエーハと比較して回折強度の変化量または変化率とイオン注入条件との相関関係を予め求めておき、製品製造プロセスのイオン注入工程において元素がイオン注入された測定用ウエーハのロッキングカーブの低角度側(高角度側)の角度範囲の回折強度を、リファレンスウエーハと比較することによって回折強度の変化量または変化率を求め、予め求めた前記相関関係に基づいて、イオン注入条件を評価することによって、前記イオン注入工程におけるイオン注入条件を管理することを特徴とするイオン注入条件の管理方法。【選択図】図4
Claim (excerpt):
少なくとも、イオン注入工程を含むシリコンウエーハ製造プロセスまたはデバイス製造プロセスのイオン注入工程におけるイオン注入条件の管理方法であって、所定の元素がイオン注入されたイオン注入層を有するシリコンウエーハのイオン注入が行われた表面側から、X線回折法を用いてロッキングカーブを測定し、該ロッキングカーブのピーク位置から該ピーク位置よりも低角度側の角度範囲の回折強度を、該角度範囲と同一の角度範囲におけるイオン注入が行われていないリファレンスウエーハのロッキングカーブの回折強度と比較することによって回折強度の変化量または変化率を求め、該変化量または変化率と前記イオン注入のイオン注入条件との相関関係を予め求めておき、その後、実際に製品を製造する際に、該製品製造プロセスのイオン注入工程において元素がイオン注入されたウエーハを測定用ウエーハとし、該測定用ウエーハのイオン注入が行われた表面側から、X線回折法を用いてロッキングカーブを測定し、該ロッキングカーブのピーク位置から該ピーク位置よりも低角度側の角度範囲の回折強度を、該角度範囲と同一の角度範囲におけるイオン注入が行われていないリファレンスウエーハのロッキングカーブの回折強度と比較することによって回折強度の変化量または変化率を求め、前記測定用ウエーハの回折強度の変化量または変化率から、予め求めた前記相関関係に基づいて、前記測定用ウエーハに行われたイオン注入のイオン注入条件を評価することによって、前記イオン注入工程におけるイオン注入条件を管理することを特徴とするイオン注入条件の管理方法。
IPC (1):
H01L 21/265
FI (1):
H01L21/265 T
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (5)
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