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J-GLOBAL ID：200903000719444402
圧電振動子、及びその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004100738
Publication number (International publication number)：2005286896
Application date： Mar. 30, 2004
Publication date： Oct. 13, 2005
Summary：
【課題】 本発明の目的は、圧電素板をバンプと導電性接着剤により導電性パッドの上に片持ちの状態で支持して気密封止する小型の圧電振動子、及びその製造方法を提供することである。【解決手段】 上記目的を達成する為に本発明は、圧電素板が圧電振動子容器内部の絶縁基板上の導電性パッド上に接続電極を介し片持ちの状態で支持され気密封止される構成の製造方法、及びその圧電振動子において、導電性パッド上にバンプ形成する工程と、バンプ上への圧電素板配置と超音波振動によるバンプの圧電素板への溶融接合工程と、導電性接着剤による導電性パッドと圧電素板の外部接続端子とを接着する工程とで成り、また圧電素板主面表裏に形成された励振用電極が導電性パッド上に形成されたバンプと導電性パッドから圧電素板にかかるようにつけられた導電性接着剤で接続電極を介し外部接続端子に導通されることを特徴とし目的を達成する。【選択図】 図1
Claim 1：
圧電素板が圧電振動子容器内部の絶縁基板上の導電性パッドの上に接続電極を介在して片持ちの状態で支持されて気密封止される構成の圧電振動子の製造方法において、
該導電性パッド上にバンプを形成する工程と、
該バンプ上への該圧電素板の配置と、超音波振動による該バンプの該圧電素板への溶融接合を行う工程と、
導電性接着剤による該導電性パッドと該圧電素板の外部接続端子とを接着する工程とにより成ることを特徴とする圧電振動子の製造方法。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (8)：
5J108CC04
, 5J108EE03
, 5J108EE07
, 5J108EE18
, 5J108FF14
, 5J108GG03
, 5J108KK03
, 5J108MM04
Cited by applicant (1)
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圧電デバイス
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2000-163067
Applicant：京セラ株式会社
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