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J-GLOBAL ID：200903000719750430

半導体膜形成方法及び薄膜半導体装置の製造方法

Inventor： 山中 英雄
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 秋山 敦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999371343
Publication number (International publication number)：2001189275
Application date： Dec. 27, 1999
Publication date： Jul. 10, 2001
Summary：

【要約】【課題】 本発明の目的は、基板上に高品質な半導体膜を形成するための半導体膜形成方法を提供することにある。【解決手段】 本発明は、バイアス触媒CVD,高密度バイアス触媒CVD,バイアス減圧CVD,バイアス常圧CVDを利用して、基板に半導体膜を形成する半導体膜形成方法である。真空容器1に原料ガスを供給し、真空容器1中に配置された基板10と電極3aとの間にグロー放電開始電圧以下の電界を印加して、基板10上に、半導体膜と、絶縁膜と、を形成することを含む工程と、この半導体膜および絶縁膜にレーザーを照射してアニールする工程と、このアニールする工程の後工程であって、水蒸気でアニールを行う工程と、を備える。

Claim (excerpt)：

バイアス触媒CVDまたは高密度バイアス触媒CVDを利用して、基板に半導体膜を形成する半導体膜形成方法であって、真空容器に少なくとも原料ガスを供給し、前記真空容器中に配置された前記基板と電極との間にグロー放電開始電圧以下の電界を印加して、前記基板上に半導体膜を形成することを含む半導体膜形成工程と、前記形成された半導体膜にレーザーを照射し、前記形成された半導体膜をレーザーでアニールするレーザーアニール工程と、を備えたことを特徴とする半導体膜形成方法。

IPC (4)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/20 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (4)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/20 ,  H01L 29/78 618 A ,  H01L 29/78 627 G

F-Term (109)：

5F045AA06 ,  5F045AA09 ,  5F045AB02 ,  5F045AB03 ,  5F045AB04 ,  5F045AB32 ,  5F045AB33 ,  5F045AC01 ,  5F045AC11 ,  5F045AC12 ,  5F045AE13 ,  5F045AE15 ,  5F045AE17 ,  5F045AE29 ,  5F045AF02 ,  5F045AF03 ,  5F045AF04 ,  5F045AF06 ,  5F045AF07 ,  5F045AF09 ,  5F045BB08 ,  5F045BB12 ,  5F045CA15 ,  5F045DA59 ,  5F045EB13 ,  5F045EE04 ,  5F045EE12 ,  5F045EE14 ,  5F045EF05 ,  5F045EH20 ,  5F045HA16 ,  5F045HA18 ,  5F045HA25 ,  5F052AA02 ,  5F052BA02 ,  5F052BA07 ,  5F052BB07 ,  5F052CA02 ,  5F052DA01 ,  5F052DB01 ,  5F052EA04 ,  5F052FA05 ,  5F052HA06 ,  5F052JA04 ,  5F110AA01 ,  5F110AA16 ,  5F110AA17 ,  5F110AA26 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110CC08 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD04 ,  5F110DD05 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD17 ,  5F110DD21 ,  5F110DD25 ,  5F110EE06 ,  5F110EE23 ,  5F110EE30 ,  5F110EE44 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF09 ,  5F110FF29 ,  5F110FF36 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG04 ,  5F110GG12 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110GG32 ,  5F110GG33 ,  5F110GG34 ,  5F110GG44 ,  5F110GG47 ,  5F110GG52 ,  5F110GG55 ,  5F110GG57 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL03 ,  5F110HL23 ,  5F110HL27 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN25 ,  5F110NN35 ,  5F110PP03 ,  5F110PP04 ,  5F110PP05 ,  5F110PP06 ,  5F110PP10 ,  5F110PP13 ,  5F110PP33 ,  5F110PP36 ,  5F110QQ09 ,  5F110QQ11