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J-GLOBAL ID：200903000736952063

薄膜トランジスタ

Inventor： 石井 裕満 ,  中村 やよい ,  山口 郁博 ,  豊島 剛
Applicant, Patent owner： カシオ計算機株式会社
Agent (1)： 花輪 義男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003320579
Publication number (International publication number)：2005093460
Application date： Sep. 12, 2003
Publication date： Apr. 07, 2005
Summary：

【課題】 薄膜トランジスタのVg-Id特性のマイナス側へのシフトを抑制する。【解決手段】 真性アモルファスシリコンからなる半導体薄膜の上面の所定の箇所には窒化シリコンからなるチャネル保護膜9が設けられている。チャネル保護膜9の上面両側およびその両側における半導体薄膜の上面にはn型アモルファスシリコンからなるオーミックコンタクト層10、11が設けられている。各オーミックコンタクト層10、11の上面にはソース電極12およびドレイン電極13が設けられている。この場合、半導体薄膜の上面に直接設けられた各オーミックコンタクト層10、11の表面は、ソース電極12およびドレイン電極13によって完全に覆われている。そして、その上に窒化シリコンからなるオーバーコート膜をプラズマCVD法により成膜しても、半導体薄膜の上面に直接設けられた各オーミックコンタクト層10、11の表面がプラズマダメージを受けることがなく、ひいてはVg-Id特性のマイナス側へのシフトを抑制することができる。【選択図】 図1

Claim 1：

ゲート電極上にゲート絶縁膜を介して半導体薄膜が設けられ、前記半導体薄膜上にチャネル保護膜が設けられ、前記チャネル保護膜上および前記半導体薄膜上に一対のオーミックコンタクト層が設けられ、前記各オーミックコンタクト層上にソース電極およびドレイン電極が設けられた薄膜トランジスタにおいて、前記ソース電極および前記ドレイン電極の幅は前記半導体薄膜上に直接設けられた領域の前記各オーミックコンタクト層の幅よりも大きくされ、且つ、前記半導体薄膜上に直接設けられた領域の前記各オーミックコンタクト層は前記ソース電極および前記ドレイン電極によって完全に覆われていることを特徴とする薄膜トランジスタ。

IPC (2)：

H01L29/786 ,  G02F1/1368

FI (3)：

H01L29/78 616T ,  G02F1/1368 ,  H01L29/78 616U

F-Term (35)：

2H092JA26 ,  2H092JA31 ,  2H092JA38 ,  2H092JA42 ,  2H092JA47 ,  2H092JB56 ,  2H092KA05 ,  2H092KA24 ,  2H092MA03 ,  2H092MA08 ,  2H092NA13 ,  2H092NA21 ,  5F110AA30 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110FF03 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK21 ,  5F110HL07 ,  5F110HM02 ,  5F110HM04 ,  5F110HM05 ,  5F110NN02 ,  5F110NN12 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35 ,  5F110NN72

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

• 薄膜トランジスタの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-248732   Applicant：カシオ計算機株式会社
• 特開平2-018967
  
• 薄膜トランジスタパネル
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-347712   Applicant：カシオ計算機株式会社
• 半導体パネルの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-011182   Applicant：カシオ計算機株式会社
• 液晶表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-062211   Applicant：三洋電機株式会社
• 液晶表示装置用薄膜トランジスタおよび液晶表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-011237   Applicant：株式会社フロンテック
• 液晶表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-067264   Applicant：三洋電機株式会社
• 特開平1-277820
  
• 特開平2-018524
  

Cited by examiner (4)

• 特開平2-018967
  
• 薄膜トランジスタパネル
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-347712   Applicant：カシオ計算機株式会社
• 半導体パネルの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-011182   Applicant：カシオ計算機株式会社
• 液晶表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-062211   Applicant：三洋電機株式会社