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J-GLOBAL ID：200903000748324440
電子銃、電子線露光装置及び半導体装置の製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
細江 利昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999178013
Publication number (International publication number)：2001006589
Application date： Jun. 24, 1999
Publication date： Jan. 12, 2001
Summary：
【要約】【課題】 微細なパターンの転写を行う電子線露光転写装置に用いるのに好適な電子銃を提供する。【解決手段】 カソード本体1は、中央部が円錐状にアノード側に突起した円板状のレニウムで作られており、その表面には、周囲部にコーティング材2が、中央部にカソード本体1の円錐状突起部分に沿って円錐状のコーティング材3が蒸着されている。コーティング材としては、いずれもレニウムよりも仕事関数の高いタングステンが使用されている。コーティング材2と円錐状のコーティング材3の間にはリング状の隙間が形成され、この部分でカソード本体1の表面のレニウムがむき出しになっていて、電子放出面4が形成されている。カソード本体1の温度は、レニウムからは電子が放出され、タングステンからは電子が放出されないような温度に制御されている。
Claim (excerpt)：
空間電荷制限条件で動作し、リング状の電子放出面を有することを特徴とする電子銃。
F-Term (2)：
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