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J-GLOBAL ID：200903000766831350

光走査装置

Inventor： 梅田 秀信 ,  後藤 博史 ,  武村 賢治 ,  池田 正哲 ,  米田 匡宏 ,  入江 篤 ,  大倉 清俊 ,  山中 規正
Applicant, Patent owner： オムロン株式会社
Agent (1)： 中野 雅房
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993346286
Publication number (International publication number)：1995181415
Application date： Dec. 22, 1993
Publication date： Jul. 21, 1995
Summary：

【要約】【構成】 検知手段21は、可動片6の回動運動の振幅を検知し、検知した振幅の大きさに応じた大きさの信号S1を出力する。検知手段21の出力信号S1は光スキャナ1の振動入力部9にフィードバック入力されており、弾性変形部4→可動片6→検知手段21→振動入力部9の経路で自励振回路22を構成している。よって、可動片6の振幅が最大になる周波数で光スキャナ1が自励振動するので、周囲温度が変動しても可動片6は常に共振周波数frで自励振動を行なう。【効果】 駆動周波数を共振周波数と一致させるように制御することができ、光ビームの走査角度を周囲環境温度の変化に対して安定させることができる。

Claim (excerpt)：

少なくとも1つの弾性変形モードを有する弾性変形部と、前記弾性変形部の一端に設けられ、前記弾性変形部の弾性変形モードに応じて動作する可動片と、前記弾性変形部の他端に設けられ、前記弾性変形部に振動を伝える振動入力部と、前記可動片の動作状態を検知する検知手段とを備え、前記検知手段の信号を振動入力部に入力することにより前記弾性変形部を自励振動させて前記可動片を駆動し、光ビームを前記可動片で反射させることにより走査させるようにしたことを特徴とする光走査装置。

IPC (2)：

G02B 26/10 101 ,  G02B 26/10