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J-GLOBAL ID:200903000777383197

スペーサ一体型ガラス基板の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 茂見 穰
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004259961
Publication number (International publication number):2006078224
Application date: Sep. 07, 2004
Publication date: Mar. 23, 2006
Summary:
【課題】 耐熱性・耐薬品性を改善し、被検体の溶液として有機溶剤が使用できるようにする。【解決手段】 ガラス基板10の表面及びその近傍に、圧力印加によって、使用するエッチング液に対するエッチングレートが他の部分と異なる線状もしくは枠状の領域を設け、次いでこのガラス基板を前記エッチング液により化学的エッチング処理して、ガラス基板の表面に堤防状の凸部16によるスペーサを一体的に形成するスペーサ一体型ガラス基板の製造方法である。【選択図】 図1
Claim 1:
ガラス基板の表面及びその近傍に、圧力印加によって、使用するエッチング液に対するエッチングレートが他の部分と異なる線状もしくは枠状の領域を設け、次いで前記ガラス基板を前記エッチング液により化学的エッチング処理して、前記ガラス基板の表面に堤防状の凸部によるスペーサを一体的に形成したことを特徴とするスペーサ一体型ガラス基板の製造方法。
IPC (2):
G01N 1/28 ,  C03C 15/00
FI (2):
G01N1/28 U ,  C03C15/00 Z
F-Term (10):
2G052DA07 ,  2G052EC11 ,  2G052EC14 ,  2G052FA00 ,  2G052GA32 ,  4G059AA08 ,  4G059AB01 ,  4G059AB11 ,  4G059AC01 ,  4G059BB14
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1) Cited by examiner (2)

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