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J-GLOBAL ID:200903000779170549

走査トンネル顕微鏡の探針バイアス電圧印加機構

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小川 勝男
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992330195
Publication number (International publication number):1994174411
Application date: Dec. 10, 1992
Publication date: Jun. 24, 1994
Summary:
【要約】【構成】試料2に電流を流すための二つの電極10及び11間の電圧に比例した電圧を発生する補正電圧発生回路31と、補正電圧発生回路の比例係数を0から1の間で変化させる機構と、補正電圧発生回路の出力電位が基準電位になるように接続された探針バイアス電圧印加電源21とで構成される。【効果】加熱中の試料や電流を流しながらの試料観察が容易になり、温度或は電流に対する試料の動的な振舞いを観察することができる。
Claim (excerpt):
観察対象となる試料に電流を流しながら測定を行うことのできる走査トンネル顕微鏡に於いて、前記試料に電流を流すための二つの電極間の電圧に比例した電圧を発生する補正電圧発生回路と前記補正電圧発生回路の比例係数を0から1の間で変化させる機構とを有し、前記補正電圧発生回路の出力電位が探針バイアス電圧印加電源の基準電位と一致するように接続されていることを特徴とする走査トンネル顕微鏡の探針バイアス電圧印加機構。
IPC (2):
G01B 7/34 ,  H01J 37/28

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