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J-GLOBAL ID：200903000796882200

液侵露光装置および液侵露光方法

Inventor： 垰畑 太 ,  中野 博之 ,  渡辺 陽子
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006128832
Publication number (International publication number)：2007300042
Application date： May. 08, 2006
Publication date： Nov. 15, 2007
Summary：

【課題】液侵露光における液侵液が乾燥した後のウォーターマークの発生を防止すること。【解決手段】本発明は、感光剤の塗布されたウェハWと露光用のレンズ10との間に液侵液Lを介在させて露光を行う液侵露光装置1において、ウェハWとレンズ10との間に液侵液Lを介在させる前に、ウェハWの表面にオゾン水を浸す、もしくはオゾンを照射する、もしくは紫外線を照射する前処理部30を備えているものである。また、ウェハWとレンズ10との周辺を覆うチャンバ20内に不活性ガスを充填する導入管21を備えるものでもある。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

感光剤の塗布されたウェハと露光用レンズとの間に液侵液を介在させて露光を行う液侵露光装置において、 前記ウェハと前記露光用レンズとの間に前記液侵液を介在させる前に、前記ウェハの表面にオゾン水を浸す前処理手段を備えている ことを特徴とする液侵露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (3)：

H01L21/30 565 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515D

F-Term (4)：

5F046BA03 ,  5F046CB24 ,  5F046DA27 ,  5F046JA22

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 液浸型露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-121757   Applicant：株式会社ニコン