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J-GLOBAL ID：200903000801305798

ウォータージェットレーザダイシング用粘着シート

Inventor： 佐々木 貴俊 ,  三木 翼 ,  浅井 文輝 ,  高橋 智一 ,  新谷 寿朗 ,  山本 晃好
Applicant, Patent owner： 日東電工株式会社
Agent (1)： 新樹グローバル・アイピー特許業務法人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007187968
Publication number (International publication number)：2008085303
Application date： Jul. 19, 2007
Publication date： Apr. 10, 2008
Summary：

【課題】半導体ウェハ等のダイシング技術の変遷に伴って、ダイシング用粘着シートの粘着力に対する臨界的意義が変化している状況下において、ダイシング時におけるウェハ等の良好な粘着を確保しつつ、粘着テープからチップまたは部品が剥離することを防ぐとともに、ダイシング後のチップまたはIC部品等の剥離における欠け等の欠陥を生じさせることなく、極めて薄い半導体ウェハまたは材料の加工が可能な粘着シートを提供することを目的とする。【解決手段】基材フィルム上に粘着剤層が積層されてなるウォータージェットレーザダイシング用粘着シートであって、粘着剤層を構成する粘着剤はエネルギー線硬化型粘着剤であり、粘着シートは1.5N/20mm以上の粘着強さを有するウォータージェットレーザダイシング用粘着シート。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

基材フィルム上に粘着剤層が積層されてなるウォータージェットレーザダイシング用粘着シートであって、 前記粘着剤層を構成する粘着剤はエネルギー線硬化型粘着剤であり、該粘着シートは1.5N/20mm以上の粘着強さを有することを特徴とするウォータージェットレーザダイシング用粘着シート。

IPC (2)：

H01L 21/301 ,  C09J 7/02

FI (3)：

H01L21/78 M ,  C09J7/02 Z ,  H01L21/78 B

F-Term (8)：

4J004AA05 ,  4J004AA10 ,  4J004AB06 ,  4J004CA04 ,  4J004CB03 ,  4J004CC07 ,  4J004CE01 ,  4J004FA05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• WO95/32834号
  
• 水透過性接着テープ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-079829   Applicant：日東電工株式会社, ニットウヨーロッパエヌ.ブイ.

Cited by examiner (1)

• 水透過性接着テープ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-079829   Applicant：日東電工株式会社, ニットウヨーロッパエヌ.ブイ.