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J-GLOBAL ID:200903000801305798

ウォータージェットレーザダイシング用粘着シート

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 新樹グローバル・アイピー特許業務法人
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007187968
Publication number (International publication number):2008085303
Application date: Jul. 19, 2007
Publication date: Apr. 10, 2008
Summary:
【課題】半導体ウェハ等のダイシング技術の変遷に伴って、ダイシング用粘着シートの粘着力に対する臨界的意義が変化している状況下において、ダイシング時におけるウェハ等の良好な粘着を確保しつつ、粘着テープからチップまたは部品が剥離することを防ぐとともに、ダイシング後のチップまたはIC部品等の剥離における欠け等の欠陥を生じさせることなく、極めて薄い半導体ウェハまたは材料の加工が可能な粘着シートを提供することを目的とする。【解決手段】基材フィルム上に粘着剤層が積層されてなるウォータージェットレーザダイシング用粘着シートであって、粘着剤層を構成する粘着剤はエネルギー線硬化型粘着剤であり、粘着シートは1.5N/20mm以上の粘着強さを有するウォータージェットレーザダイシング用粘着シート。【選択図】なし
Claim (excerpt):
基材フィルム上に粘着剤層が積層されてなるウォータージェットレーザダイシング用粘着シートであって、 前記粘着剤層を構成する粘着剤はエネルギー線硬化型粘着剤であり、該粘着シートは1.5N/20mm以上の粘着強さを有することを特徴とするウォータージェットレーザダイシング用粘着シート。
IPC (2):
H01L 21/301 ,  C09J 7/02
FI (3):
H01L21/78 M ,  C09J7/02 Z ,  H01L21/78 B
F-Term (8):
4J004AA05 ,  4J004AA10 ,  4J004AB06 ,  4J004CA04 ,  4J004CB03 ,  4J004CC07 ,  4J004CE01 ,  4J004FA05
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
  • WO95/32834号
  • 水透過性接着テープ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願2001-079829   Applicant:日東電工株式会社, ニットウヨーロッパエヌ.ブイ.
Cited by examiner (1)
  • 水透過性接着テープ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願2001-079829   Applicant:日東電工株式会社, ニットウヨーロッパエヌ.ブイ.

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