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J-GLOBAL ID：200903000801541050

多層膜の膜厚制御方法及び成膜装置

Inventor：
谷 卓行

About 谷 卓行


Applicant, Patent owner：
凸版印刷株式会社

About 凸版印刷株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004253921
Publication number (International publication number)：2006071402
Application date： Sep. 01, 2004
Publication date： Mar. 16, 2006
Summary：
【課題】多層膜の膜厚の合わせこみを正確に、サンプリグ間隔が長くならず、且つ廉価に行う多層膜の膜厚制御方法、及び成膜装置を提供する。【解決手段】1)予め、目標とする多層膜、及び各層を変動させて得られた各多層膜に、入射角を変化させて入射光を照射した際の、各反射光の色度座標を色度図上に目標とする多層膜の色度点、及び各多層膜の色度点としてプロット、2)製造された多層膜に、入射角2以上の入射光を照射した際の、各反射光の色度座標を色度図上に製造された多層膜の色度点としてプロット、3)両色度点を対比し、製造された多層膜のどの層の膜厚が、どれだけ変動しているかを判断、4)多層膜の製造条件を補正、製造する多層膜の膜厚制御する。【選択図】図5
Claim 1：
多層膜の膜厚制御方法において、 1)予め、目標とする多層膜、及び目標とする多層膜を構成する各層を変動させて得られた各多層膜に、入射角を変化させて入射光を照射した際の、各反射光の色度座標を色度図上に目標とする多層膜の色度点、及び各多層膜の色度点としてプロットしておき、 2)製造された多層膜に、入射角2以上の入射光を照射した際の、各反射光の色度座標を色度図上に製造された多層膜の色度点としてプロットし、 3)製造された多層膜の色度点と、上記目標とする多層膜の色度点及び各多層膜の色度点を対比することにより、製造された多層膜を構成する層の内、どの層の膜厚が、どれだけ変動しているかを判断し、 4)続いて製造される多層膜の製造条件を補正し、 多層膜を製造することを特徴とする多層膜の膜厚制御方法。
IPC (2)：
G01B 11/06 ,  C23C 14/08
FI (2)：
G01B11/06 Z ,  C23C14/08 N
F-Term (32)：
2F065AA30 ,  2F065BB13 ,  2F065BB15 ,  2F065CC02 ,  2F065CC31 ,  2F065DD06 ,  2F065FF41 ,  2F065GG02 ,  2F065GG24 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ17 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL03 ,  2F065LL21 ,  2F065LL42 ,  2F065LL46 ,  2F065LL67 ,  2F065PP16 ,  4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA46 ,  4K029BA48 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029CA06 ,  4K029DA03 ,  4K029DC16 ,  4K029EA01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)

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