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J-GLOBAL ID：200903000805497160

ダイシング用リングフレームへの接着剤の付着防止方法、該方法に用いられる粘着シートおよび該粘着シートを備えたウェハ加工用シート

Inventor： 妹 尾 秀 男 ,  杉 野 貴 志
Applicant, Patent owner： リンテック株式会社
Agent (1)： 鈴木 俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995274077
Publication number (International publication number)：1996213349
Application date： Oct. 23, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 半導体ウェハ加工時に用いるリングフレームへの接着剤の付着が防止し、リングフレームの洗浄回数を必要最小限にとどめて、リングフレームの寿命を長くする。【解決手段】 ダイシング用リングフレーム1のダイシングテープ接着予定面4に易剥離層を設ける。

Claim (excerpt)：

ダイシング用リングフレームのダイシングシート接着予定面に易剥離層を設けることを特徴とするダイシング用リングフレームへの接着剤の付着防止方法。

IPC (2)：

H01L 21/301 ,  B28D 7/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭61-290009
  
• 特開昭59-177942