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J-GLOBAL ID：200903000817891760

イオンビーム分析装置

Inventor： 小西 郁夫 ,  藤田 広之
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 西岡 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994174142
Publication number (International publication number)：1996043330
Application date： Jul. 26, 1994
Publication date： Feb. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 試料に照射されたイオンビームの照射量を正確に測定できるイオンビーム分析装置の提供する。【構成】 試料TPに含まれる元素の分析に影響を与えない特定ガス、例えばネオン(Ne)ガスIを特定ガス供給手段6からフード2内に供給した状態で、イオンビーム発生装置1から試料TPにイオンビームを照射し、X線検出器3で検出されたX線の信号を演算手段4で信号処理することにより、エネルギー分布データを得る。そして、ファラデーカップ等を用いて予め求められた、この特定ガスについての特性X線強度とイオンビーム照射量との対応関係から、分析時におけるイオンビーム照射量が算出される。

Claim (excerpt)：

イオンビームを試料に照射し、前記イオンビームの照射により発生した試料を構成する元素固有の電磁波を分析することにより試料の定性・定量等の分析を行うイオンビーム分析装置において、前記試料に含まれる元素の分析に影響を与えない特定ガスを前記試料周辺に供給する特定ガス供給手段と、前記イオンビームとの相互作用により発生する前記特定ガス固有の電磁波を検出する電磁波検出手段と、予め測定された前記特定ガス固有の電磁波の強度とイオンビーム照射量との関係を用いて、前記電磁波検出手段で検出された特定ガス固有の電磁波の強度からイオンビーム照射量を算出する演算手段と、を備えたことを特徴とするイオンビーム分析装置。