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J-GLOBAL ID：200903000823155099

薄膜コンデンサ及びその製造方法

Inventor： 松原 正吾
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994015180
Publication number (International publication number)：1995226334
Application date： Feb. 09, 1994
Publication date： Aug. 22, 1995
Summary：

【要約】【目的】 150°C以下の温度で作製でき、70nF/cm2 以上の容量密度を有し、かつ、絶縁性に優れた薄膜コンデンサ及びその製造方法とともに、それを用いた高精度・高信頼性のCR回路素子を提供することを目的としている。【構成】 薄膜コンデンサは樹脂製プリント基板であるPC(ポリカーボネイト)基板1、アルミ下部電極2、複合ペロブスカイト酸化物粉末3と硬化性樹脂4から構成される誘電体膜5、及びアルミ上部電極6からなる。誘電率が数千以上の複合ペロブスカイト酸化物粉末3を硬化性樹脂4を含有する揮発性溶媒に分散させてスピンコート法でPC基板3上に塗布した後、80°Cで揮発溶媒の乾燥除去、紫外光照射によって樹脂硬化することにより、150°C以下で誘電体膜5を形成する。

Claim (excerpt)：

下部電極と上部電極との間に誘電体膜を設けた薄膜コンデンサであって、誘電体膜として複合ペロブスカイト酸化物と硬化性樹脂の混合体を用いたことを特徴する薄膜コンデンサ。

IPC (2)：

H01G 4/33 ,  H01G 4/40

FI (2)：

H01G 4/06 102 ,  H01G 4/40 307