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J-GLOBAL ID：200903000835619864

ポジ型感光性樹脂組成物

Inventor： 薄田 謙二 ,  荒野 明男 ,  西川 雅人
Applicant, Patent owner： クラリアント ジャパン 株式会社
Agent (1)： 鐘尾 宏紀 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999017832
Publication number (International publication number)：2000214582
Application date： Jan. 27, 1999
Publication date： Aug. 04, 2000
Summary：

【要約】【課題】高感度・高解像力で、現像残りの無く、かつ良好な形状を有するパターンを形成することができるポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【構成】アルカリ可溶性ノボラック樹脂のナフトキノンジアジドスルホン酸部分エステルからなる感光性ノボラック樹脂を含有してなる感光性樹脂組成物において、前記感光性ノボラック樹脂が、アルカリ可溶性ノボラック樹脂の1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステルと、アルカリ可溶性ノボラック樹脂の1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホン酸エステルとの混合物からなり、かつこれら1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホニル基と1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホニル基の重量比が5:95〜20:80であることを特徴とする感光性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性ノボラック樹脂とo-ナフトキノンジアジド化合物との部分エステル化物を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物において、該部分エステル化物が1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステルと、1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホン酸エステルとからなり、かつ該部分エステル化物に結合した前記4-スルホニル基と5-スルホニル基の重量比が5:95〜20:80であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (2)：

G03F 7/023 501 ,  H01L 21/027

FI (2)：

G03F 7/023 501 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (12)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE02 ,  2H025BJ01 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17