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J-GLOBAL ID：200903000867906776

プラズマ発生装置

Inventor： 滝 薫
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995331988
Publication number (International publication number)：1997171900
Application date： Dec. 20, 1995
Publication date： Jun. 30, 1997
Summary：

【要約】【課題】本発明は、プラズマの活性種密度を広い面積において均一にかつ高くする。【解決手段】プラズマチャンバ1内にマイクロ波導入窓3を通してマイクロ波を導入し、プラズマチャンバ1内に封入された媒質ガスを励起してプラズマを発生させるプラズマ発生装置において、マイクロ波導入窓3に隣接したプラズマチャンバ1の内壁に誘電体30を取り付けた。

Claim (excerpt)：

反応容器内にマイクロ波導入窓を通してマイクロ波を導入し、前記反応容器内に封入された媒質ガスを励起してプラズマを発生させるプラズマ発生装置において、少なくとも前記マイクロ波導入窓の近傍に前記反応容器の内壁に誘電体を取り付けたことを特徴とするプラズマ発生装置。

IPC (3)：

H05H 1/46 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/3065

FI (3)：

H05H 1/46 B ,  C23F 4/00 D ,  H01L 21/302 B