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J-GLOBAL ID：200903000892337220

紫外可視光放出縦型空洞表面放出レーザおよびその製造方法

Inventor： ジャマル・ラムダニ ,  マイケル・エス・レビー ,  ウェンビン・ジアン
Applicant, Patent owner： モトローラ・インコーポレイテッド
Agent (1)： 大貫 進介 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997368433
Publication number (International publication number)：1998215026
Application date： Dec. 25, 1997
Publication date： Aug. 11, 1998
Summary：

【要約】【課題】 金属基板の利用により格子整合性の向上を図り、紫外/青色/緑色可視スペクトルにおける放出が可能な縦型空洞表面放出レーザを提供する。【解決手段】 紫外/青色/緑色縦型空洞表面放出レーザ(VCSEL)(10)は、金属単結晶基板(12)上にVCSEL構造が形成され、高密度データ記憶に用いられる。金属単結晶基板(12)は、背面反射ミラーとして利用され、窒化アルミニウム・ガリウム/窒化ガリウム分布ブラッグ反射器(20)と共に、VCSEL素子(10)の全体的な反射率を高めるように作用する。金属基板(12)は、ニッケル・アルミニウムのような物質で製作され、これによって、含まれるIII窒化物材料に対する格子整合性の向上が図られる。

Claim (excerpt)：

縦型空洞表面放出レーザであって:表面(13)を有する金属支持基板(12);前記金属支持基板(12)の前記表面(13)上に配された第1バッファ層(18);前記第1バッファ層(18)上に配され、第2バッファ層として作用可能な第1分布ブラッグ反射器(20)であって、交互層(21)の対を含む前記第1分布ブラッグ反射器(20);前記第1分布ブラッグ反射器(20)上に配された第1接触層(26),該第1接触層(26)上に配された第1クラッディング領域(28),該第1クラッディング領域(28)上に配された活性領域(30),該活性領域(30)上に配された第2クラッディング領域(32),および該第2クラッディング領域(32)上に配された第2接触層(34);ならびに前記第2接触層(34)上に配された第2分布ブラッグ反射器(36);から成ることを特徴とする縦型空洞表面放出レーザ。