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J-GLOBAL ID：200903000896738190
プラズマイオン源質量分析装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
高田 幸彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998204817
Publication number (International publication number)：2000036284
Application date： Jul. 21, 1998
Publication date： Feb. 02, 2000
Summary：
【要約】【課題】質量スペクトルデ-タから元素の濃度を直感的に推定するのに適したプラズマイオン源質量分析装置を提供すること。【解決手段】プラズマイオン源部2で生成されたプラズマ中には試料1が導入され、イオン化される。そのようにして生成されたイオンはインタ-フエ-ス4を介して取り出され、さらにイオンレンズ6によって収束されてイオントラップタイプの質量分析部7に導入される。ここでイオンは質量分析され、検出器によって検出される。検出器からの信号はコンピュ-タ8に導入され、処理がなされて質量スペクトルデ-タが得られる。コンピュ-タ8は質量スペクトルデ-タをイオン化率及び同位体比にもとづいて補正して、補正された質量スペクトルデ-タを生成し、表示する。
Claim (excerpt)：
元素をイオン化してそのイオンを生成するプラズマイオン源と、前記イオンを蓄積し、その蓄積したイオンを質量分析するイオントラップタイプの質量分析部と、該質量分析部で分析されたイオンの質量スペクトルデ-タを生成するとともに、該質量スペクトルデ-タを前記元素のイオン化率にもとづいて補正する手段とを備えていることを特徴とするプラズマイオン源質量分析装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01J 49/26
, G01N 27/62 D
5C038HH16
, 5C038HH21
, 5C038HH28
, 5C038HH30
