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J-GLOBAL ID：200903000905249784

研磨加工方法

Inventor： 斎藤 慎一郎
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 渡部 温
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998287336
Publication number (International publication number)：2000094326
Application date： Sep. 25, 1998
Publication date： Apr. 04, 2000
Summary：

【要約】【課題】 研磨除去量を一定的に保ち、加工ムラのない一様な面性状を得ることができる研磨加工方法を提供する。【解決手段】 被加工物1は、ワーク形状が非回転対称の非球面をなしており、研磨機に固定されている。ツール(研磨工具)は、回転自在なツール軸4と、ツール軸4の下端に連結されたツール皿2と、ツール皿2の下面に接着されたポリシャ3とを備えている。ポリシャ3は、特に発泡体又はスエード状部材からなる。そして、加工作業の前段階(準備作業)で、加工中に供給される研磨液に対して、被研磨面1a及びポリシャ3が親和性をもつような処理を行う。また、実際の研磨加工は、液中研磨により行われる。

Claim (excerpt)：

研磨工具を用い、研磨液を供給して、被加工物を研磨加工する方法において;上記研磨加工を開始する前に、上記被加工物の研磨面に、上記研磨液に対する親和性処理を施すことを特徴とする研磨加工方法。

IPC (2)：

B24B 57/02 ,  B24B 13/00

FI (2)：

B24B 57/02 ,  B24B 13/00 Z

F-Term (6)：

3C047GG11 ,  3C047GG13 ,  3C049AA06 ,  3C049AA11 ,  3C049AA16 ,  3C049CB01