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J-GLOBAL ID：200903000913539856
複屈折板およびその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
樺山 亨 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991297400
Publication number (International publication number)：1993132768
Application date： Nov. 13, 1991
Publication date： May. 28, 1993
Summary：
【要約】【目的】複屈折性が高く、機械強度に優れた複屈折板を安価に実現する。【構成】透明基板1の表面に対して40〜80度傾いた方向から蒸発物質を飛来させるように透明基板表面と蒸発源3の位置関係を設定し、導入ガスの圧力を9×10~5Torr以上とした状態で、プラズマ蒸着法により金属酸化物の薄膜2を所望の膜厚に形成する。
Claim (excerpt)：
透明基板表面に対して40〜80度傾いた方向から蒸発物質を飛来させるように透明基板表面と蒸発源の位置関係を設定し、導入ガスの圧力を9×10~5Torr以上とした状態で、プラズマ蒸着法により金属酸化物の薄膜を所望の膜厚に形成することを特徴とする複屈折板の製造方法。
IPC (3)：
C23C 14/32
, C23C 14/08
, G02B 5/30
Cited by examiner (7)
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