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J-GLOBAL ID：200903000914250876

電子イメージ位置合せ装置および方法

Inventor： マーク・アラン・キャスパリアン ,  ドナルド・チャールズ・フォースランド
Applicant, Patent owner： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
Agent (1)： 頓宮 孝一 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992288375
Publication number (International publication number)：1993322793
Application date： Oct. 27, 1992
Publication date： Dec. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】 検査システムやイメージ処理システムのような連続処理のために、理想ラスタ・データを実ラスタ・データに電子的に位置決めまたは位置合せする装置および方法を提供する。【構成】 電子イメージ位置決めシステムは、イメージ幅を保持するのに十分な広さを有し、傾斜イメージにおける差を保持するのに十分な高さを有するスクローリング・バッファ50,70に理想および実イメージを受取る。各バッファは垂直方向にイメージ・フレームをランダムにアクセスするセレクタを有している。各バッファ・イメージ・フレームは、下側スワースから次の上側スワース内の新しい位置に水平に移動される。各バッファの水平移動は、水平方向の調整可能なシーケンシャル・アクセスが可能なように独立である。実イメージ・ストリーム・バッファ・セレクタ・アドレス指定およびクロッキングは、位置決めフェーズ中、一定に保持され、理想イメージ・ストリーム・バッファ・セレクタ・アドレスおよびクロッキングは常時調整される。

Claim (excerpt)：

連続処理のために理想イメージ・ラスタ・データを実イメージ・ラスタ・データに電子的に位置決めする電子イメージ位置合せ装置において、ラスタ化バイナリ理想および実イメージ・データ・ストリームをそれぞれ受取る第1および第2の入力手段と、前記ラスタ化理想および実イメージ・データ・ストリームをそれぞれ受取る第1および第2のスクローリング・バッファとを備え、前記スクローリング・バッファは、誤位置合せまたは歪みを考慮するために、イメージ幅を保持するのに十分な広さを有し、かつ、傾斜イメージを保持するのに十分な高さを有し、前記第1および第2のスクローリング・バッファにそれぞれ接続され、隣接するイメージ・ラスタのセットを垂直方向にランダムにアクセスする第1および第2のセレクタ手段を備え、各スクローリング・バッファ・イメージ・スワース・ラスタ・セットは、下側スワースから隣接する上側スワースの新しい位置に水平に移動し、各スクローリング・バッファの水平移動は、前記第1および第2のセレクタ手段によって、水平方向の調整可能なシーケンシャル・アクセスが可能なように独立であり、前記第1および第2のセレクタ手段に対するアドレスと、前記第1および第2のスクローリング・バッファに対するクロック信号とを生成する制御手段を備え、実イメージ・データ・ストリーム・アドレス指定を一定に保持し、実イメージ・データ・ストリーム・クロッキングを、位置決めフェーズ中、一定に保持し、理想イメージ・データ・ストリーム・アドレス指定およびクロッキングを変化させて、前記理想イメージ・ラスタ・データを前記実イメージ・ラスタ・データに位置合せする、ことを特徴とする電子イメージ位置合せ装置。

IPC (6)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/00 ,  G06F 15/70 330 ,  H01L 21/66 ,  H05K 13/08 ,  G06F 15/62 405