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J-GLOBAL ID：200903000971167160

光触媒、その製造方法及びその製造装置

Inventor： 山下 信樹 ,  利根川 裕
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 奥山 尚男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999290637
Publication number (International publication number)：2001104798
Application date： Oct. 13, 1999
Publication date： Apr. 17, 2001
Summary：

【要約】【課題】 可視領域においても安定に作用する高性能の光触媒を、非常に簡単で安価な装置を用いて、大面積に対しても低コストで製造することができる光触媒、その製造方法、及びその製造装置を提供する。【解決手段】 真空中に、膜材料となる酸化チタンと微量のCr、V、Fe又はNiとを含むターゲット3を有するスパッタ源2を設け、放電ガスであるアルゴン及び酸素を導入して、該ターゲット3に電力を印加して放電を発生させることによって、該ターゲット3表面よりスパッタ粒子を放出させて、基板10に光触媒膜14を堆積させることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

真空中に、光触媒膜の材料となる酸化チタンと微量のCr、V、Fe又はNiとを含むターゲットを有するスパッタ源を設け、放電ガスであるアルゴン及び酸素を導入して、該ターゲットに電力を印加して放電を発生させることによって、該ターゲット表面よりスパッタ粒子を放出させて、基板に光触媒膜を堆積させることを特徴とする光触媒の製造方法。

IPC (8)：

B01J 35/02 ,  B01D 53/86 ,  B01J 23/22 ,  B01J 23/26 ,  B01J 23/745 ,  B01J 23/755 ,  B01J 37/02 301 ,  C23C 14/34

FI (9)：

B01J 35/02 J ,  B01J 23/22 A ,  B01J 23/26 A ,  B01J 37/02 301 P ,  C23C 14/34 A ,  B01D 53/36 J ,  B01D 53/36 C ,  B01J 23/74 301 A ,  B01J 23/74 321 A

F-Term (49)：

4D048AB01 ,  4D048AB03 ,  4D048BA07X ,  4D048BA23Y ,  4D048BA25X ,  4D048BA36Y ,  4D048BA38Y ,  4D048BA41X ,  4D048BA42X ,  4D048EA01 ,  4G069AA08 ,  4G069AA09 ,  4G069BA04A ,  4G069BA04B ,  4G069BA48A ,  4G069BB04A ,  4G069BB04B ,  4G069BB06A ,  4G069BB06B ,  4G069BC54A ,  4G069BC58A ,  4G069BC58B ,  4G069BC66A ,  4G069BC68A ,  4G069CA02 ,  4G069CA03 ,  4G069CA07 ,  4G069CA10 ,  4G069DA06 ,  4G069EA11 ,  4G069FA03 ,  4G069FB02 ,  4G069FB79 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA48 ,  4K029BA50 ,  4K029BB01 ,  4K029BC00 ,  4K029BD00 ,  4K029CA05 ,  4K029DA02 ,  4K029DB05 ,  4K029DB17 ,  4K029DB18 ,  4K029DC05 ,  4K029DC12 ,  4K029DC35 ,  4K029DC41